中微公司刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺全球出貨超5000臺
人民財訊3月12日電,今日,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”)宣布其等離子體刻蝕設(shè)備反應(yīng)總臺數(shù)全球累計出貨超過5000臺。這包括CCP高能等離子體刻蝕機(jī)和ICP低能等離子體刻蝕機(jī)、單反應(yīng)臺反應(yīng)器和雙反應(yīng)臺反應(yīng)器共四種構(gòu)型的設(shè)備。等離子體刻蝕機(jī),是光刻機(jī)之外,最關(guān)鍵的、也是市場最大的微觀加工設(shè)備。